Физическая сущность возникновения избыточной поверхностной проводимости и ее измерение

Физическая сущность возникновения избыточной поверхностной проводимости и ее измерение
Итак, начнем с того, что зависимость поверхностнойпроводимости обозначается σs, а поверхностный электростатический потенциалφs.
Для того, чтобы понять смысл понятия поверхностной проводимости, необходимо рассмотреть некоторые понятия, что ниже будут представлены. Рассмотрим для определенности полупроводника с электроннойпроводимостью и начнем с больших положительных значений φs , когда в приповерхностном слое обогащения находится большой избыток электронов, который можно приблизительно вычислить следующим выражением:

0

Эта зависимость объясняется процессами захвата электронов проводимостиповерхностными состояниями. Быстрый спад проводимости вначале связан с захватом электронов быстрыми поверхностными состояниями (участок 1). Медленный спад проводимости (участок 2-3) зависит от толщины окисного слоя на поверхности, а также от химического состава окружающей среды и может быть объяснен заполнением медленных поверхностных состояний. Таким образом, результаты исследования эффекта поля позволяют определить тип проводимости полупроводника, найти начальный изгиб зон, вызванный поверхностными состояниями, установить величину заряда, захваченного этими состояниями в зависимости от изгиба зон, определить концентрацию и энергетическое положение поверхностных состояний. И, наконец, изучая кинетику эффекта поля, можно определить время релаксации быстрых и медленных поверхностных состояний.