Рекомендуемая категория для самостоятельной подготовки:
Отчёт по практике*
| Код |
357884 |
| Дата создания |
26 апреля 2013 |
| Страниц |
19
|
Мы сможем обработать ваш заказ (!) 23 декабря в 12:00 [мск] Файлы будут доступны для скачивания только после обработки заказа.
|
Описание
Отчет по практике. Тема: «Анализ влияния конструктивных особенностей на электромиграцию в интегральных схемах с медной электрической разводкой». Работа защищена на отлично в НИЯУ МИФИ (МИФИ) в 2008 году. ...
Содержание
Содержание:
Введение
1.1 Анализ материалов для создания электрической разводки в ИМС.
1.2 Дамасский и двойной дамасский процессы изготовления электрической
разводки из меди.
1.3 Постановка задачи.
1.4 Технологический процесс изготовления структуры, показывающей влияние конструкции ИМС на электромиграцию в электрической разводке схемы.
1.5 Вывод.
1.6 Список используемой литературы.
Введение
В последние годы наблюдается тенденция снижения топологических размеров сверхбольших интегральных схем. Уменьшение размеров элементов неизбежно ведет к уменьшению ширины токоведущих дорожек. На первый план выходят такие проблемы как максимальная допустимая плотность тока и устойчивость к электромиграции.
Алюминий, который раньше использовался в производстве интегральных схем, теперь не соответствует новым требованиям и не может применяться в современных схемах, по причине высокой электромиграции, а также невозможности создания многоуровневой разводки, так как на поверхности алюминия всегда присутствует тонкая пленка Al2O3.
Фрагмент работы для ознакомления
e
Список литературы
Список используемой литературы:
1.Березин А. С., Мочалкина О. Р., технология и конструирование интегральных схем, «Радио и связь», 1992 год.
2.Ennis T. Ogawa, Ki-Don Lee, Volker A. Blaschke, and Paul S. Ho; Electromigration Reliability Issues in Dual-Damascene interconnections, IEEE TRANSACTIONS ON RELIABILITY, VOL. 51, NO. 4, DECEMBER 2002.
3. Статья «Электродиффузия и отказы в электронике». , IEEE TRANSACTIONS ON RELIABILITY.
Пожалуйста, внимательно изучайте содержание и фрагменты работы. Деньги за приобретённые готовые работы по причине несоответствия данной работы вашим требованиям или её уникальности не возвращаются.
* Категория работы носит оценочный характер в соответствии с качественными и количественными параметрами предоставляемого материала. Данный материал ни целиком, ни любая из его частей не является готовым научным трудом, выпускной квалификационной работой, научным докладом или иной работой, предусмотренной государственной системой научной аттестации или необходимой для прохождения промежуточной или итоговой аттестации. Данный материал представляет собой субъективный результат обработки, структурирования и форматирования собранной его автором информации и предназначен, прежде всего, для использования в качестве источника для самостоятельной подготовки работы указанной тематики.
Другие отчёты по практике
bmt: 0.00434